雰囲気制御炉用 調湿装置 導入事例

炉用調湿及びガス供給装置導入事例

用途:セラミック焼成炉
概略仕様
  1. 調湿ガス露点温度:-20℃dp~+20℃dp
  2. ガス種:窒素、水素
  3. ガス流量:窒素100SLM、水素20SLM
  4. 計測器:静電容量式露点計、酸素センサー
用途:超伝導線材雰囲気制御炉
概略仕様
  1. 調湿ガス露点温度:+5℃dp~+60℃dp
  2. ガス種:酸素、アルゴン
  3. ガス流量:酸素400SLM、アルゴン400SLM
  4. 計測器:静電容量式露点計、酸素センサー、水素濃度計
用途:溶融鋼板のシュミレーター
概略仕様
  1. 調湿ガス露点温度:-60℃dp~+20℃dp
  2. ガス種:窒素、水素、二酸化炭素
  3. ガス流量:窒素200SLM、水素50SLM、二酸化炭素:50SLM
  4. 計測器:静電容量式露点計、酸素センサー、水素濃度計
用途:溶融メッキ鋼板のシュミレーター
概略仕様
  1. 調湿ガス露点温度:-60℃dp~+20℃dp
  2. ガス種:窒素、水素、二酸化炭素
  3. ガス流量:窒素200SLM、水素50SLM、二酸化炭素:50SLM
  4. 計測器:静電容量式露点計、酸素センサー、水素濃度計
用途:不明
概略仕様
  1. 調湿ガス露点温度:-20℃dp~+70℃dp
  2. ガス種:空気
  3. ガス流量:空気20SLM
  4. 計測器:静電容量式露点計
用途:焼成炉
概略仕様
  1. 調湿ガス露点温度:-20℃dp~+70℃dp
  2. ガス種:空気
  3. ガス流量:空気20SLM
  4. 計測器:静電容量式露点計
用途:真空パージ式ボックス炉
概略仕様
  1. 調湿ガス露点温度:-10℃dp~+20℃dp
  2. ガス種:窒素
  3. ガス流量:窒素200SLM
  4. 計測器:静電容量式露点計
用途:WF6 CVDコーティングガスキャビネット
概略仕様
  • ガス種:水素、アルゴン、ヘリウム、ベンゼン、6フッ化タングステン