| 1996年1月 | マイクロ・イクイップメント有限会社設立。 |
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| 1999年3月 | 燃料電池評価装置メーカーとして参入。 |
| 1999年8月 | 現在の東京西新宿に工場・開発センターを立上げる。 |
| 2007年7月 | 経済産業省の平成19年度事業「産業技術研究開発事業（中小企業支援型）」において、国立研究開発法人 産業技術総合研究所湿度標準研究室との共同研究支援を受ける。 |
| 2008年6月 | 「高度化した高湿発生システムの市場への独占的普及促進」に関する経営革新計画が東京都から承認される。 |
| 2009年6月 | マイクロ・イクイップメント株式会社に組織変更。 |
| 2009年9月 | 「中小企業ものづくり基盤技術開発の高度化」に関する規定に基づく特定研究開発等計画が経済産業省から認定を受ける。 |
| 2009年10月 | 「新商品の生産による新事業分野開拓者」として、弊社製品「ワイドレンジ対応精密定露点発生装置」が東京都から認定（トライアル発注認定制度）を受ける。 |
| 2012年12月 | 小型軽量型精密調湿発生器、me-40DPシリーズを開発・商品化。 |
| 2017年 | 小型サーキュレーターの商品化、次世代藻類高機能型バイオリアクターの開発計画も行い、現在に至る |
