雰囲気制御炉用 調湿装置 導入事例

炉用調湿及びガス供給装置導入事例

用途:セラミック焼成炉

「概略仕様
1)調湿ガス露点温度:-20℃dp~+20℃dp
2)ガス種:窒素、水素
3)ガス流量:窒素100SLM、水素20SLM
4)計測器:静電容量式露点計、酸素センサー

用途:超伝導線材雰囲気制御炉

「概略仕様」
1)調湿ガス露点温度:+5℃dp~+60℃dp
2)ガス種:酸素、アルゴン
3)ガス流量:酸素400SLM、アルゴン400SLM
4)計測器:静電容量式露点計、酸素センサー、水素濃度計

用途:溶融鋼板のシュミレーター

「概略仕様」
1)調湿ガス露点温度:-60℃dp~+20℃dp
2)ガス種:窒素、水素、二酸化炭素
3)ガス流量:窒素200SLM、水素50SLM、二酸化炭素:50SLM
4)計測器:静電容量式露点計、酸素センサー、水素濃度計

用途:溶融メッキ鋼板のシュミレーター

「概略仕様」
1)調湿ガス露点温度:-60℃dp~+20℃dp
2)ガス種:窒素、水素、二酸化炭素
3)ガス流量:窒素200SLM、水素50SLM、二酸化炭素:50SLM
4)計測器:静電容量式露点計、酸素センサー、水素濃度計

用途:不明 用途:焼成炉 用途:真空パージ式ボックス炉
「概略仕様」
1)調湿ガス露点温度:-20℃dp~+70℃dp
2)ガス種:空気
3)ガス流量:空気20SLM
4)計測器:静電容量式露点計
「概略仕様」
1)調湿ガス露点温度:-10℃dp~+20℃dp
2)ガス種:窒素
3)ガス流量:窒素200SLM
4)計測器:静電容量式露点計
「概略仕様」
1)調湿ガス露点温度:+10℃dp~+70℃dp
2)ガス種:窒素、酸素
3)ガス流量:窒素10SLM、酸素5SCCM
4)計測器:静電容量式露点計
用途:WF6 CVDコーティングガスキャビネット
「概略仕様」
☆ガス種:水素、アルゴン、ヘリウム、ベンゼン、6フッ化タングステン